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:: 概要
所谓MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)是指，通过使用半导体工艺技术的微加工技术来制作微小单位系统功能的技术。70年代开始到80年代制作了微型机械构造物，到了90年代，发展成集成传感器、逻辑电路、调节器等的形态。
MEMS技术通过超精密微细加工，可实现小型化、高性能化、多功能化、集成化，也可提高安全性和可靠性。同时，还可实现一体化的集成系统，以此来降低组装的需要，并通过整体的制作工艺来进行廉价的批量生产。
:: 研究开发目标
KEC正以30余年来积累的半导体工艺技术为基础， 集中力量研发使用MEMS技术的传感器及被动元件等MEMS产品。目前正以位于KIST的汉城研究中心为主体，深入该技术的研究开发。现已完成了基础核心工艺技术，正在进行商品化开发。通过这一系列的技术开发活动，终于在去年成功开发出硅压力传感器，现正在为开展汽车用、医用、家电用、工业用压力传感器项目打造基础，并计划将其应用范围扩大至信息通信用高频元件。
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无锡开益禧半导体有限公司
